Le pompe per vuoto in miniatura, spesso chiamate piccole pompe per vuoto per le loro dimensioni ridotte, sono definite come segue: una pompa per vuoto in miniatura ha un ingresso e un'uscita, in grado di creare continuamente un vuoto o pressione negativa all'ingresso e una leggera pressione positiva all'uscita; il mezzo di lavoro è principalmente gas ed è uno strumento compatto.
Collegando un contenitore sigillato (inizialmente a una pressione atmosferica di 100 kPa) a una pompa a vuoto in miniatura ed evacuandolo continuamente, la pressione del gas all'interno del contenitore sigillato scenderà infine al di sotto della pressione atmosferica, raggiungendo una pressione assoluta di 60 kPa. Inoltre, attraverso speciali miglioramenti tecnologici, oltre alle pompe per vuoto miniaturizzate a singola-funzione, è possibile sviluppare pompe per vuoto a doppio-uso e di evacuazione (ovvero, l'estremità di scarico può generare una pressione positiva relativamente elevata), utilizzate per la pressurizzazione, il riempimento, per superare la resistenza del sistema, ecc. Esistono anche pompe per vuoto miniaturizzate a doppio scopo-acqua{8}}gas uniche, che possono essere utilizzate in situazioni che richiedono periodi di inattività-a lungo termine o funzionamento a secco, a differenza delle normali pompe dell'acqua che sono danneggiati dal funzionamento al minimo o a secco.