Le pompe per vuoto in miniatura sono pompe che utilizzano il gas come mezzo di lavoro principale. Adatti per il funzionamento a lungo termine-al minimo e a secco, creano un vuoto (pressione negativa) azionando un diaframma per eseguire l'aspirazione e lo scarico del gas attraverso un movimento alternativo-azionato da un motore. Questi dispositivi sono dotati sia di ugelli di aspirazione che di scarico. I modelli specializzati includono modelli a doppio scopo-di aspirazione/espansione e acqua/gas per adattarsi a diverse condizioni operative.
I componenti principali includono la pompa a membrana e il controller del vuoto. Un prodotto tipico è il Busch RA0020F (velocità di pompaggio 20 m³/h, pressione finale 0,1 mbar). Lo sviluppo tecnologico si concentra sulla miniaturizzazione, sull'efficienza energetica e sull'intelligenza, incorporando la tecnologia della levitazione magnetica, la tecnologia di lubrificazione senza olio- e un design rispettoso dell'ambiente. Le principali applicazioni includono apparecchiature mediche (dispositivi di aspirazione, ventilatori), monitoraggio ambientale, produzione di semiconduttori e nuova industria energetica. Si prevede che la dimensione del mercato interno raggiungerà i 5 miliardi di yuan nel 2024.